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【产业分析】#10 ASML的DUV光刻 - 猎星笔记
首先是关于7nm DUV这件事,在ASML展区中,现场ASML工作人员对TWINSCAN NXT:1980Di的DUV光刻机原理进行了视频演示,据称,其可以用过多次曝光的手段 ...
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