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duv原理
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euv和duv區別是什麼 - tw511教學網
euv和duv區別:1、duv基本上只能做到25nm,而euv能滿足10nm以下的晶圓權制造;2、duv主要利用光的折射原理,而euv利用的光的反射原理,內部必須為真空 ...
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