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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES
除了曝光環境的限制外,光學系統(optics)與光阻材料及計上亦與深紫外光(DUV)微影截然不同。該光學系統無法以高純度熔融玻璃作為材料,而必須使用CaF2晶體;但是該 ...
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