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duv原理
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2. 何謂準分子雷射
使用稀有氣體和鹵素等的混合氣體作為介質,利用脈衝放電進行激發的氣態雷射。具代表性的例子有能以高強度放出深紫外(DUV)線的氟氬(ArF)準分子雷射(波長193nm)、氟 ...
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