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duv原理
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半導體解密:ASML光刻機憑什麼能一廠獨大?台積電總能買到 ...
光刻機的原理其實像幻燈機一樣簡單,就是把光透過帶電路圖的掩 ... 從其關鍵參數和介紹來看,其光源波長為193nm,水準大致相當於ASML DUV 光刻機的 ...
確定!
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