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「duv原理」懶人包資訊整理 (1) | 蘋果健康咬一口
原理. ➢在晶片上塗一層感光材料,使用光源的半聚合光,經. 過以玻璃為主體的光罩後,打在感光材料上..... ◇DUV光學式的曝光技術,除了248nm的KrF外,即將導入.
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