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duv原理
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同样能造出7nm芯片,EUV光刻机对比DUV光刻机 - 网易
DUV 光路主要利用光的折射原理。其中,浸没式光刻机会在投影透镜与晶圆之间,填入去离子水,使得193nm的光波等效至134nm;而干法光刻机则不会如此,其 ...
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