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duv原理
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中芯國際採購DUV光刻機,對比11億一臺的EUV光 ... - 互動頭條
DUV 光刻機的光路,主要利用光的折射原理,而且透鏡和晶圓之間可以採用不同的介質,來改變光刻效能。 placeholder. 反觀EUV光刻機,主要利用光的反射原理。
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