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俄羅斯限制惰性氣體出口專家：半導體不致斷鏈 - NewTalk

工研院產科國際所研究總監楊瑞臨說，氖氣在半導體方面的應用，主要是深紫外光（DUV）雷射用的氣體，與14奈米、28奈米、40奈米及65奈米等12吋成熟製程 ...

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