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DUV光刻机和价值一亿的EUV光刻机有什么区别 - 21IC论坛

首先是光源上的区别。 DUV光刻机又名深紫外线光刻机，而EUV光刻机指的是极深紫外线光刻机。从名称上来看就能了解到，两者之间的光源差异。 DUV光刻机的 ...

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