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關於黃光及其100個疑問,這篇文章已全面解答 - 每日頭條
17、何謂DUV? 答:曝光過程中用到的光,其波長為248nm,其波長較短,因此曝光完成後的圖形解析度較好,用於較為重要的製程中。 18、I-line與DUV主要 ...
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