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极紫外光刻 - 万维百科

EUV光源波长比目前DUV（深紫外线微影）的光源波长短，约为15分之1，因此能使用于线距更小电路图案的曝光上。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同，当采用13.5nm波长的极 ...

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