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波段外輻射 - 中文百科全書

通常，OOB波長在150~400nm，其中DUV占EUV光強的比例約1%到30%。EUV光刻膠對EUV和OOB都敏感， ... 中文名：波段外輻射; 外文名：Out Of Band Radiation; 英文縮寫：OOB.

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