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這設備30 年前問世至今仍在使用，助ASML 登上半導體微影 ...

不論是極紫外光微影曝光設備(EUV) 或是深紫外光微影曝光設備(DUV)，當前都 ... 的設備，而PAS 5500 的全名「the Philips Automatic Stepper (PAS)」。

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