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【产业信息速递】关于DUV光刻机的一些讨论 - 世展网

其中，尼康于1988 年发布了第一款使用KrF 光刻技术的DUV 工具，名为NSR-1505EX。它最初的分辨率为500 纳米，但随着时间的推移，它升级到250 纳米，叠加100 ...

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