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duv光源
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国产光刻机的“行军难” - 与非网
EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的光源波为193nm,较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率,因此DUV只能用于制造7nm及以上制程的芯片。
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