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EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術

不過即使採用了DUV，由於這兩年台積電製程已經走到10奈米以下，不再能滿足 ... 波長只有13.5 奈米的EUV 當作光源的光刻機，讓10奈米以下的電晶體不會 ...

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