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3月25日，28纳米和14纳米光刻机的差别在哪里？ - 雪球

业界人士指出其实并没有严格意义上的28nm、14nm光刻机，自从45nm工艺以来都是采用浸润式光刻机，光源都是DUV光源ArF，激光光源波长都是193nm，然后 ...

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