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duv光源
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为什么荷兰ASML敢拒绝美国禁令,对华出口DUV光刻机? - 36氪
到今天,中国很多网友还分不清EUV光刻机和DUV光刻机的区别。二者最大的不同在于,EUV光刻机采用的是极紫外光源,可以用来量产14纳米以下的高端芯片。
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