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3分鐘了解光刻機 - 每日頭條

按照發展軌跡，最早的光刻機光源即為汞燈產生的紫外光源（UV）。之後行業領域內採用準分子雷射的深紫外光源（DUV），將波長進一步縮小到ArF的193 nm。由於 ...

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