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Gigaphoton将投资50亿日元建厂，生产DUV光刻机核心设备光源

Gigaphoton公司是日本最大工程机械企业小松的子公司，其在光刻机光源设备中占据高达50%的市场份额，多年来一直向ASML供货。该公司由于掌握DUV光源这一先进技术，营业利润率 ...

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