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全方位微影技術介紹 - ASML

為了能控制EUV極紫外光光源，並推動EUV微影系統商用化，20多年來，ASML持續投入研發，克服各種 ... 我們的DUV深紫外光微影系統是當前半導體產業用於量產晶片的主力。

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