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国产DUV光源_科技：打破垄断全球的霸权 - 顶点小说

九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源，为这个分辨率90nm的S1A600/20光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。 光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光. 经过矫正后 ...

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