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極紫外光刻的發展現狀 - 電子時報

DUV 一類的雷射叫凖分子雷射（Excimer laser），基本上是受電場激發的惰性氣體與鹵族元素形成一生命期極短的二聚體（dimer，又譯凖分子），當被同時觸發 ...

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