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先進光學曝光系統與極紫外光(EUV)就? - Ansforce

將光罩上的圖形縮小之後轉移到矽晶圓上所使用的方法稱為「黃光微影(Photolithography)」 ... 深紫外光. DUV. Deep Ultraviolet. 準分子雷射. Excimer laser. 極紫外光.

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