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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來

光，是林本堅一生的興趣，是他一生的信仰，更是他一生對於半導體產業貢獻的最佳寫照。 因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就，台積電奈米影像技術 ...

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