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ASML才禁售DUV一個月!中國爆出「國產」DUV年底出貨
曝光機可分為DUV、EUV兩大類,目前由荷蘭ASML佔絕對壟斷地位,日本的 ... 還涉及到光阻劑、惰性氣體、光源、物鏡、塗膠顯影設備、光罩等諸多環節。
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