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(1) 光阻經DUV、VUV、EUV 及BEUV 光源照射 ... - 博碩士論文網

(1) 當半導體微影製程光源從使用193 nm (DUV, Deep ultraviolet)波長縮短至13.5 nm (EUV, Extreme ultraviolet)波長時，光阻釋氣即被視為汙染EUV 光學元件的重要元兇之 ...

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