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duv光刻機
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光刻機巨頭ASML給中國開緑燈DUV進口無需授權但EUV受限
在全球光刻機市場,日本的尼康、佳能,和荷蘭的ASML,就佔據瞭市場90% 以上份額。而最高級的EUV(極紫外光)技術,則更是隻有荷蘭的ASML 一傢可以掌握。
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