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極紫外光刻的發展現狀 - DigiTimes

1996年底，一具甫抵桃園機場的深紫外光刻（DUV）步進機被特殊載具以每小時低於10公里的龜速運至園區三期，三期中的柏油路是特別為載運機台協調園區 ...

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