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国产光刻机背后的希望 - 智东西

相比90nm制程芯片，28nm制程的芯片能制造出性能更为优越的芯片产品。尽管短时间内可能无法实现193nm ArF浸没式DUV光刻机的量产，但这一技术突破的战略意义 ...

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