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科普| 突破技术瓶颈！28nm光刻机竟能生产7nm芯片！

芯片的生产与光刻机的精度息息相关，除了光刻机的精度外，多次曝光工艺也可以进一步提高芯片的制程，本文主要介绍如何采用28 nm DUV光刻机来制造7 nm ...

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