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微電子光刻機9大伏位! 獨家資料! (2023年更新) - Clarisonic

之前有網友爆料，上海微電子將於2020年12月下線首臺採用ArF光源的SSA800/10W光刻機，這是一臺國產浸沒式微電子光刻機DUV 微電子光刻機光刻機，可實現單次曝光28nm節點。

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