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中芯国际为什么非要买7nm的EUV光刻机呢 - 知乎

首先纠正一个常识性的错误，没有7nm的DUV光刻机，也没有7nm的EUV光刻机。 所有的DUV光刻机，用的光源都是193nm波长的ArF excimer laser，之前的一代DUV，用的光源 ...

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