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dummy製程
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第二篇] 半导体制程工艺概览与氧化 - 电子创新元件网
本期内容就让我们来详细了解一下具体的制程工艺。 ... 氧化程度差异,晶圆中掺杂着假片(Dummy Wafer),以利用它们作为牺牲晶片来调整气体的均匀度。
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