為增加產量,. 一般均設計放入兩個晶舟,每個晶舟裝滿25 片,不足則用檔片(Dummy. Wafers)補滿或平均分配,兩個晶舟裝有相同片數,以達兩邊負重平衡。在. 最後旋乾時,才不 ...
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