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半導體廠耗能指標及節能方案之研究 - Scribd

希望建立半導體廠耗能指標, 與各相關半導體廠做相對應比較. 建立更良好的能源使用模式，在能源使用上更有 ... 無塵室負荷無塵室總負荷為1,373.6 RT(MAU + DRY COI

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