廠牌 機種 製程種類 對應基板材質 對應基板尺寸 Showa IAD蒸鍍機 光學膜 Glass/Si Wafer/Sapphire... 塑膠 2"、4" 其他用膠帶固定 ULVAC Ei‑7L 金屬電極 Si wafer 6"、8"、12" SPUTTER 實驗用Sputter Si、Glass、PETetc 膠帶固定 4"
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