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dry pump構造
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LS シリーズ|スクリュー型ドライ真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプとは、ねじ溝構造をもったロータシャフトが対となり、微少隙間を保ったまま回転させることで、溝に入った気体を入口から出口に向かって移送 ...
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