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矽基薄膜太陽電池沉積之光激發光譜分析與電漿尾氣處理之系統 ...

用乾式幫浦(Dry pump)來抽氣，而製程所產生的微粒粉塵很容易就卡在幫浦葉. 片上，造成抽氣效率下降甚至故障，使得製程成本的提高。本研究計畫與譜榮精.

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