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第一節真空幫浦

scroll pump. 由一迴轉的渦旋. 狀的轉子在一與. 其共軛. 的. （conjugate）的. 靜子中轉動而抽. 氣. 10. 渦卷式乾式幫浦抽氣原理. 11. 第三節高真空到超高真空抽氣 ...

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