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晶圓的處理－ 微影成像與蝕刻

光阻劑（photoresist）. • 對顯影劑溶解度會隨曝光程度. 改變. • 不會被蝕刻劑或蝕刻製程侵蝕. 劑. • 可用剝除劑移除. Page 5. 塗敷光阻劑. Page 6 ...

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