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IC 多樣產品之生產線製造能力評估 - nhuir

例如：同樣的缺陷數目、大小及分佈，對有複雜製程的產品所造成的良率損失就比對簡 ... 括光罩數目、製程步驟數、臨界線寬或最 ... DRAM and beyond”, IEEE of Journal.

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