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半导体刻蚀设备：多频共振驱动刻蚀市场，国产替代未来可期

差；对于DRAM 而言，电路图形密度增大，多重图案化重复次数增加，极大地增加. 了刻蚀工艺的设备需求。先进制程和复杂结构增加了刻蚀步骤和难度，助推 ...

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