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dram製程步驟
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DRAM和3D-NADA半導體製造的300mm高溫單片SPM設備已交貨
該新設備拓展了盛美的SPM制程產品,覆蓋了高溫SPM的制程步驟,隨著技術節點推進到10nm及以下,這些步驟數量將越來越多。
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