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奈米結構原子級薄膜製程技術—儀科中心成功開發原子層沉積系統

同時可用於複雜的DRAM 電容結構與微機電元件等技術所需的高深寬比均勻鍍膜製程。目前國際半導體設備大廠如Applied Material、Axitron-Genus 與ASML ...

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