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非晶矽薄膜電晶體液晶顯示器製造

易摻雜(doping) 成n+ type a-Si 與介電材料、玻璃、. 金屬等形成良好的界面特性及高電阻率等特性，故. 可廣泛使用。由於PECVD 具備低溫成膜的特色.

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