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半導體元件與積體電路之學習內容 - 清華大學電機系

dopant摻雜的數量受固態溶解度(solid solubity)的限制，最大有效量約在1018cm-3左右。相當於Si原子5x1022cm-3的. 密度，一般的摻雜量約只佔原子密度的千分之一以下，這 ...

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