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Chapter 5 矽鍺合金薄膜成長於摻雜硼低溫矽虛擬基材(Si0 ...

摻雜目的在於利用硼原子去改變低溫矽層晶緩衝層中的結構(Boron-doped in ... Si0.8e 0.2 Grown on Boron-doping LT-Si Virtual Substrate. 樣品編號.

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