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氧摻雜碳化矽介電阻障層應用於奈米積體電路製程整合之開發與 ...

Study and Development of Oxygen-doped Silicon Carbide Dielectric Barrier ... 中文關鍵詞：, 氧摻雜碳化矽、介電阻障層、含氟氧參雜碳化矽、黏附力、紫外線處理.

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